さる
でもわかるFIX装置の
目次
1. FIX 装置の立ち上げ方法
2. FIX 装置のシャットダウンの方法
3. プラズマ生成用ガス供給系について
3-1. レギュレータ
3-2. 高速電磁弁
4. データ取り込み系について
4-1. 取り込みプログラムの使い方
4-2. 干渉計
4-3. ディアマグプローブ
5. 真空ブレークの方法
6. ギャップスイッチ用真空系及び加圧系
6-1. 真空排気系
6-2. 加圧系
7. さあ困ったどうしよう.......
7-1. トラブルいろいろ
7-2. 大曝発音がしました
番外. 役立ちリンク
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大久保
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