さるでもわかるFIX装置の
目次






1. FIX 装置の立ち上げ方法

2. FIX 装置のシャットダウンの方法

3. プラズマ生成用ガス供給系について

3-1. レギュレータ

3-2. 高速電磁弁

4. データ取り込み系について

4-1. 取り込みプログラムの使い方

4-2. 干渉計

4-3. ディアマグプローブ

5. 真空ブレークの方法

6. ギャップスイッチ用真空系及び加圧系

6-1. 真空排気系

6-2. 加圧系

7. さあ困ったどうしよう.......

7-1. トラブルいろいろ

7-2. 大曝発音がしました



番外. 役立ちリンク

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